白光干涉測量專用于非接觸式快速測量,精密零部件之重點部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺階段差尺寸,其測量精度可以達到納米級!目前,在3D測量領域,白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一。
技術特點
白光干涉作為一種廣泛應用的三維表面形貌測量技術,其縱向分辨率可達到亞納米級別。
視場內信息采集與數(shù)據(jù)處理同時進行,大面積區(qū)域的高度信息采集時間短。
多用于科學研究與質量管理領域,典型應用包括不同表面粗糙度樣品的三維表面形貌測量(如晶片結構、鏡面、玻璃與金屬)、臺階高度測定和曲面精度測量(如微型透鏡)。
Smart系列白光干涉三維輪廓儀創(chuàng)新性地整合白光干涉技術,自主研發(fā)的SmartWLI 軟件可以對整個測量過程進行監(jiān)測與控制。
其核心算法基于長期研發(fā)與測量經驗,具備高效、穩(wěn)定、精度高等特點。
SmartWLI軟件,用于形貌測量及通過直接接口輸出三維數(shù)據(jù)進入MountainsMap圖片形貌圖片處理軟件,包括文件編制MountainsMap圖片形貌軟件,用于圖片處理,數(shù)據(jù)分析與生成報告。
廣泛的運用領域:
白光干涉優(yōu)勢特點:
1, 非接觸測量 : 非接觸三維表面輪廓測量。
2, 重復性好: 噪音小,測量重復性好。
3, 納米級分辨率: Z軸分辨率最高可達0.1nm
4, 點云數(shù)量多: 測量的點云數(shù)多:一個面最多可以達到500萬個點。
5, XY分辨率小: 點間距小,XY分辨率高,大范圍內可高精度測量。
6, 視野范圍大: 多種視野范圍可供選擇,快速切換物鏡變換視野。
7, 測量速度快: 采集速度、處理和輸出數(shù)據(jù)速度快。
8, 可在線測量 : 測量速度快,可實現(xiàn)在線高速檢測。
9, 角度特性好: 超越傳統(tǒng)角度極限,可以測量更大傾斜角的產品,漫反射面可測接近90度的斜面。
10,軟件功能強大: 軟件包MountainsMap強大的分析軟件功能可用于復雜的測量任務,如粗糙度,表面結構,微觀幾何形狀和輪廓。 自動化有多種選擇:可使用SDK,I/O模塊和幾條工業(yè)產線解決方案。
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