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納米精度移動(dòng)平臺(tái)——岱珂機(jī)電 納米級(jí)的最高精度運(yùn)動(dòng)

發(fā)布日期:2022-05-27    瀏覽次數(shù):3842

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借助其獨(dú)特的壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)、剛性機(jī)械設(shè)計(jì)以及交叉滾子軸承的應(yīng)用,環(huán)境和真空納米定位器能夠在納米尺度上移動(dòng)和放置高達(dá)數(shù)公斤的負(fù)載。

工作原理

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