技術特點:
最小兼容的壓力5* 10?11mbr
最大負重24kg
最小編碼器分辨率1nm
最大量程150mm
因其在工業(yè)研究領域的納米技術尖端解決方案的開發(fā)、生產和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽國際。 其產品組合包括,超精密驅動單元,干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器,其工作接近技術和物理的極限。
其室溫和低溫納米精度移動平臺, 專為納米定位而設計,在極端環(huán)境條件下(如低溫,高磁場和超高真空)具有最高精度。適用于大氣和真空條件,并且可根據客戶的應用提供各種不同的選擇,如使用重量輕的強鋁用于大氣層,而不銹鋼外殼兼容高達真空條件。
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