壓電平臺(tái)-擺動(dòng)

說(shuō)明：

編號(hào)較小的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，不能用于支撐數(shù)字較大的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，如ECSx3030不應(yīng)支撐EGC5050。某些情況下，安裝不同的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可能需要轉(zhuǎn)接板。工業(yè)產(chǎn)線運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可安裝在L型支架上，該支架可以垂直定位，且對(duì)應(yīng)于各個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)有特定負(fù)荷。

室溫和低溫納米精度移動(dòng)平臺(tái)，專為納米定位而設(shè)計(jì)，在極端環(huán)境條件下（如低溫，高磁場(chǎng)和超高真空）具有最高精度。適用于大氣和真空條件，并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的選擇，如使用重量輕的強(qiáng)鋁用于大氣層，而不銹鋼外殼兼容高達(dá)真空條件。

環(huán)境和真空納米定位器

用于大氣和真空條件的壓電納米驅(qū)動(dòng)器

納米定位器包含壓電電機(jī)，以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的運(yùn)動(dòng)，并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的主體材料、尺寸和選項(xiàng)。

對(duì)于我們基于軸承的 EC* 系列定位器，重量輕且強(qiáng)度高的鋁材用于大氣應(yīng)用，而不銹鋼外殼可與高達(dá) UHV 的真空條件兼容。AN* 系列適用于特殊要求，例如有限空間或非磁性要求，因此由鈦或鈹銅制成。 

產(chǎn)品查找器通過(guò)根據(jù)對(duì)您重要的規(guī)格對(duì)整個(gè)產(chǎn)品組合進(jìn)行分類，消除了為您的設(shè)置查找納米定位器的麻煩。

煩。

高負(fù)載

借助其獨(dú)特的壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)、剛性機(jī)械設(shè)計(jì)以及交叉滾子軸承的應(yīng)用，環(huán)境和真空納米定位器能夠在納米尺度上移動(dòng)和放置高達(dá)數(shù)公斤的負(fù)載。

閉環(huán)控制

結(jié)合三軸驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 AMC100，環(huán)境和真空納米定位器能夠?qū)崿F(xiàn) 1 nm (1 μ°) 的閉環(huán)定位分辨率，同時(shí)提供高達(dá) 4.5 mm/s (10°/s) 的行進(jìn)速度。50 nm (50 μ°) 的位置可重復(fù)性超出了這些納米定位器的規(guī)格。

真空兼容性

環(huán)境和真空納米定位器專用于在室溫和從超高真空到環(huán)境的壓力范圍內(nèi)運(yùn)行。所有平臺(tái)均采用陽(yáng)極氧化鋁或不銹鋼制成，可滿足光學(xué)和 UHV 應(yīng)用。

材料和預(yù)期壽命

對(duì)于環(huán)境和真空納米定位器，特別強(qiáng)調(diào)使用壽命和成本效益制造。室溫優(yōu)化的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，結(jié)合鋁或不銹鋼作為主體材料的選擇，可顯著降低成本，同時(shí)實(shí)現(xiàn)約 500,000 次循環(huán)的使用壽命。