壓電平臺-直線

壓電平臺-直線

技術(shù)特點：

 最大負荷∶24kg

 最大量程∶50mm

 軌跡∶從30x30m㎡開始 

環(huán)境和真空納米定位器

用于大氣和真空條件的壓電納米驅(qū)動器

納米定位器包含壓電電機，以實現(xiàn)納米級精度的運動，并且可根據(jù)客戶的應用提供各種不同的主體材料、尺寸和選項。

對于我們基于軸承的 EC* 系列定位器，重量輕且強度高的鋁材用于大氣應用，而不銹鋼外殼可與高達 UHV 的真空條件兼容。AN* 系列適用于特殊要求，例如有限空間或非磁性要求，因此由鈦或鈹銅制成。 

產(chǎn)品查找器通過根據(jù)對您重要的規(guī)格對整個產(chǎn)品組合進行分類，消除了為您的設置查找納米定位器的麻煩。

煩。

高負載

借助其獨特的壓電驅(qū)動技術(shù)、剛性機械設計以及交叉滾子軸承的應用，環(huán)境和真空納米定位器能夠在納米尺度上移動和放置高達數(shù)公斤的負載。

閉環(huán)控制

結(jié)合三軸驅(qū)動電子設備 AMC100，環(huán)境和真空納米定位器能夠?qū)崿F(xiàn) 1 nm (1 μ°) 的閉環(huán)定位分辨率，同時提供高達 4.5 mm/s (10°/s) 的行進速度。50 nm (50 μ°) 的位置可重復性超出了這些納米定位器的規(guī)格。

真空兼容性

環(huán)境和真空納米定位器專用于在室溫和從超高真空到環(huán)境的壓力范圍內(nèi)運行。所有平臺均采用陽極氧化鋁或不銹鋼制成，可滿足光學和 UHV 應用。

材料和預期壽命

對于環(huán)境和真空納米定位器，特別強調(diào)使用壽命和成本效益制造。室溫優(yōu)化的驅(qū)動機構(gòu)，結(jié)合鋁或不銹鋼作為主體材料的選擇，可顯著降低成本，同時實現(xiàn)約 500,000 次循環(huán)的使用壽命。