技術特點:
最小兼容的壓力5* 10?11mbr
最大負重24kg
最小編碼器分辨率1nm
最大量程150mm
因其在工業(yè)研究領域的納米技術尖端解決方案的開發(fā)、生產(chǎn)和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽國際。 其產(chǎn)品組合包括,超精密驅動單元,干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器,其工作接近技術和物理的極限。
其室溫和低溫納米精度移動平臺, 專為納米定位而設計,在極端環(huán)境條件下(如低溫,高磁場和超高真空)具有最高精度。適用于大氣和真空條件,并且可根據(jù)客戶的應用提供各種不同的選擇,如使用重量輕的強鋁用于大氣層,而不銹鋼外殼兼容高達真空條件。
3D幾何測量系統(tǒng)專注于高精密全自動3D測量其特點:2D/3D尺寸∣線面輪廓度∣偏···
光譜共焦成像:CCS, MPLS, CHR運用案例介紹機加工零件測量運用案例點式···
激光干涉儀:以太網(wǎng)Web界面(工業(yè)4.0)多種傳感頭可按客戶需求定制3軸:測量不···
借助其獨特的壓電驅動技術、剛性機械設計以及交叉滾子軸承的應用,環(huán)境和真空納米定位···