白光干涉?zhèn)鞲衅?/h1>

發(fā)布日期：2021-12-21   　瀏覽次數(shù)：1687

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白光干涉?zhèn)鞲衅?/h1>

       白光干涉測量專用于非接觸式快速測量，精密零部件之重點部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺階段差尺寸，Z向分辨率最高可達0.1um，其測量精度可以達到納米級！

技術(shù)特點

白光干涉作為一種廣泛應(yīng)用的三維表面形貌測量技術(shù)，其縱向分辨率可達到亞納米級別。

視場內(nèi)信息采集與數(shù)據(jù)處理同時進行，大面積區(qū)域的高度信息采集時間短。

多用于科學(xué)研究與質(zhì)量管理領(lǐng)域，典型應(yīng)用包括不同表面粗糙度樣品的三維表面形貌測量（如晶片結(jié)構(gòu)、鏡面、玻璃與金屬）、臺階高度測定和曲面精度測量（如微型透鏡）。

廣泛的運用領(lǐng)域：

白光干涉優(yōu)勢特點：

1， 非接觸測量 ：      非接觸三維表面輪廓測量。

2， 重復(fù)性好：           噪音小，測量重復(fù)性好。

3， 納米級分辨率：    Z軸分辨率最高可達0.1nm

4， 點云數(shù)量多：       測量的點云數(shù)多：一個面最多可以達到500萬個點。

5， XY分辨率小：      點間距小，XY分辨率高，大范圍內(nèi)可高精度測量。

6， 視野范圍大：       多種視野范圍可供選擇，快速切換物鏡變換視野。

7， 測量速度快：       采集速度、處理和輸出數(shù)據(jù)速度快。

8， 可在線測量 ：          測量速度快，可實現(xiàn)在線高速檢測。

9， 角度特性好：       超越傳統(tǒng)角度極限，可以測量更大傾斜角的產(chǎn)品，漫反射面可測接近90度的斜面。

使用范圍包括但并局限于以下：

 ? 半導(dǎo)體；

 ? 電子； 

? 汽車； 

? 光伏晶圓

更多參數(shù)細節(jié)歡迎來電咨詢。。。。。。

13816545905

 鄭先生

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