直線電機(jī)平臺(tái) | LINEAR MOTOR STAGE UMS130-X 系列

直線電機(jī)平臺(tái) | LINEAR MOTOR STAGE UMS130-X 系列

UMS130-X系列采用了高精度帶防蠕動(dòng)功能的交叉滾柱導(dǎo)軌，配合直線電機(jī)及高分辨光柵尺，具 有體積小、負(fù)載大、噪音低等優(yōu)點(diǎn)。防蠕動(dòng)的交叉滾柱導(dǎo)軌特別適合需要微步距行走的應(yīng)用，配合 高性能的驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定走出10nm的步長(zhǎng)，這是普通直線導(dǎo)軌直線電機(jī)平臺(tái)較難保證的 重要性能。因此UMS130-X系列特別適合用在高精度定位、檢測(cè)、曝光以及微加工的應(yīng)用場(chǎng)景。

● 非接觸式直驅(qū)電機(jī)，超高精度且擁有非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能 

● 無鐵芯電機(jī)，速度波動(dòng)低于千分之一（結(jié)合指定類型驅(qū)動(dòng)器，實(shí)驗(yàn)室環(huán)境測(cè)試數(shù)據(jù)）

● 靜音防蠕動(dòng)導(dǎo)軌，可確保微小步距控制 

● 使用壽命超長(zhǎng)，長(zhǎng)時(shí)間免維護(hù)使用

外形尺寸

技術(shù)參數(shù)