直線電機平臺 | LINEAR MOTOR STAGE UMS130-X 系列
UMS130-X系列采用了高精度帶防蠕動功能的交叉滾柱導軌，配合直線電機及高分辨光柵尺，具 有體積小、負載大、噪音低等優(yōu)點。防蠕動的交叉滾柱導軌特別適合需要微步距行走的應用，配合 高性能的驅動控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定走出10nm的步長，這是普通直線導軌直線電機平臺較難保證的 重要性能。因此UMS130-X系列特別適合用在高精度定位、檢測、曝光以及微加工的應用場景。
● 非接觸式直驅電機，超高精度且擁有非常優(yōu)秀的動態(tài)性能
● 無鐵芯電機，速度波動低于千分之一（結合指定類型驅動器，實驗室環(huán)境測試數(shù)據(jù)）
● 靜音防蠕動導軌，可確保微小步距控制
● 使用壽命超長，長時間免維護使用
外形尺寸
技術參數(shù)
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