隨著科學技術的不斷進步,掃描電子顯微鏡已經成為材料科學、生命科學和各生產部門控制質量環(huán)節(jié)中不可缺少的工具之一。
掃描電子顯微鏡是介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段,主要用于各種材料的微觀分析和成分分析。
掃描電子顯微鏡主要利用聚焦很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像,以達到對物質微觀形貌表征的目的。作為顯微鏡家族中的后起之秀,掃描電子顯微鏡本身具有許多獨特的優(yōu)點,發(fā)展速度非??臁呙桦娮语@微鏡的分辨率較高,通過二次電子象能夠觀察試樣表面6納米左右的細節(jié),采用LaB6(六硼化鑭)電子槍,可以進一步提高到3納米;掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)變化范圍,且連續(xù)可調,因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察,同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。除此之外,掃描電子顯微鏡還具有觀察樣品的景深大、視場大,圖像富有立體感,樣品制備簡單,可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像質量以及可進行綜合分析等特點。
掃描電子顯微鏡的特點對于改進合成條件,制備出具有優(yōu)異性能的納米材料有很重要的指導意義。掃描電子顯微鏡可直接觀察納米材料的結構、顆粒、尺寸、分布、均勻度及團聚情況,結合能譜還能對納米材料的微區(qū)成分進行分析,確定納米材料的組成。因為納米材料的性質與其組成和表面形貌有很大關系,利用掃描電子顯微鏡分析納米材料,可建立起納米材料種類、微觀形貌與宏觀性質之間的聯(lián)系。而且掃描電子顯微鏡因其自身優(yōu)勢也在物理學、化學、生物學、考古學、地礦學、食品科學、微電子工業(yè)以及刑事偵查等領域被廣泛應用。我們相信,隨著科學技術的進步,掃描電子顯微鏡也會不斷發(fā)展,進一步擴展自身的應用范圍。
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