在鈣鈦礦產(chǎn)線上的膜層厚度及PL測(cè)量技術(shù)的最新分享

德國(guó)LayTec公司是薄膜工藝原位和在線光學(xué)測(cè)量的主要供應(yīng)商，產(chǎn)品用于廣泛的薄膜應(yīng)用，如LED和激光生產(chǎn)、功率器件和晶體管、薄膜光伏、氧化物和有機(jī)沉積以及其他大面積沉積工藝。無論是在原位、沉積過程中還是在線，LayTec的集成測(cè)量系統(tǒng)可實(shí)時(shí)獲取薄膜的所有關(guān)鍵參數(shù)。此外，用于干法蝕刻的原位測(cè)量系統(tǒng)，擴(kuò)大了LayTec在生產(chǎn)線上的產(chǎn)品組合。除此之外，LayTec還提供全面型mapping解決方案，通過提供沉積層的均勻性分析，完美地補(bǔ)充了原位測(cè)量。

在光伏領(lǐng)域，LayTec在過去五年中一直專注于純鈣鈦礦薄膜和鈣鈦礦疊層的測(cè)量方案。基于這一經(jīng)驗(yàn)，并與該領(lǐng)域一些最知名的研究機(jī)構(gòu)的合作，現(xiàn)在為所有主要的鈣鈦礦形成方式提供質(zhì)量控制解決方案。在生產(chǎn)過程中使用LayTec測(cè)量系統(tǒng)顯著縮短了開發(fā)周期，并實(shí)現(xiàn)了高效的質(zhì)量控制，有助于大幅降低生產(chǎn)和開發(fā)成本。

上海岱珂成立于2011年，是由一個(gè)有著超過20年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的團(tuán)隊(duì)組建而成，致力于打造自動(dòng)化精密測(cè)量技術(shù)平臺(tái)，在此基礎(chǔ)上尋找來自全球先進(jìn)的精密測(cè)量方案，為電子、半導(dǎo)體、新能源、航空航天及汽車等行業(yè)客戶提供量身定制科學(xué)、高效、穩(wěn)定的高精度的在線尺寸測(cè)量解決方案，提升客戶的核心竟?fàn)幜?，降低客戶成本。在上海、北京、廣東東莞、福建廈門等地分別設(shè)有總公司和辦事處，在日新月異的當(dāng)今中國(guó)的制造產(chǎn)業(yè)中，以不可忽視的新秀姿態(tài)越來越發(fā)揮其應(yīng)有的作用。

德國(guó)Laytec公司與上海岱珂公司于2023年簽署戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，授權(quán)上海岱珂公司為其在大中華區(qū)獨(dú)家代理商，推廣其在光伏CIGS，CdTe及鈣鈦礦、OLED及其他大面積薄膜沉積厚度及PL在線與原位測(cè)量的解決方案。

 報(bào)告標(biāo)題 

 In-situ and in-line quality control for perovskite formation from lab-scale to industrial production

 演講人姓名職位 

Dr. Christian Camus ， CMO and product manager

 演講人簡(jiǎn)歷 

德國(guó)柏林聯(lián)邦大學(xué)物理學(xué)博士，在德國(guó)和美國(guó)光伏行業(yè)公司擔(dān)任過多個(gè)職位，2015年到2018年期間，領(lǐng)導(dǎo)了ZAE Beyern的光伏系統(tǒng)小組，專注于光伏系統(tǒng)可靠性及集成研究。2019年加入Laytec公司，擔(dān)任產(chǎn)品經(jīng)理，并從2020年開始擔(dān)任公司的CMO。

在本報(bào)告中，介紹了通過集成測(cè)量系統(tǒng)監(jiān)測(cè)鈣鈦礦形成質(zhì)量的最新進(jìn)展。展示了光譜反射和光致發(fā)光等光學(xué)方法如何應(yīng)用于研究和控制旋涂、狹縫涂布、PVD以及退火過程中鈣鈦礦薄膜的形成。因此，可以實(shí)現(xiàn)原位和在線的監(jiān)測(cè)。

從這些測(cè)量中收集的光學(xué)信息可用于了解基本的材料特性，如薄膜厚度、粗糙度、帶隙或成分，以及工藝條件，如過程中的生長(zhǎng)速率，或通過直接控制這些參數(shù)主動(dòng)調(diào)整以達(dá)到所需的薄膜特性。

總之，這些方法為提高鈣鈦礦薄膜工藝的可重復(fù)性和產(chǎn)量提供了一個(gè)很好的工具箱，從而加速了工藝開發(fā)中的學(xué)習(xí)周期。