客戶經常打電話咨詢干涉儀,看到中間儀器有激光干涉儀和白光干涉儀,不知道哪一個能滿足自己的需求?雖然激光干涉儀和白光干涉儀都屬于干涉儀的類別,但兩者之間的區(qū)別可能很大!
激光干涉儀的工作原理
邁克爾遜干涉原理用于測量激光干涉儀:
(1) 從SJ6000激光干涉儀主機出射的激光束(圓偏振光)分為兩束激光(線偏振光);
(2) 兩束激光分別通過角錐反射鏡A和角錐反射鏡B由于兩束激光頻率相同,振動方向相同,相位差恒定,反射后平行于出射光(紅線)返回,分光鏡后疊加。
(3) 角錐反射鏡B激光波長的距離每移動一半,就會產生完整的明暗干擾。測量距離等于干涉條紋數乘以激光半波長。
根據激光干涉儀的原理,我們可以清楚地知道設備的運動精度,SJ6000目前,激光干涉儀廣泛應用于機床、直線電機、滑臺、模塊、自動化設備、機器人等領域。
白光干涉儀的工作原理
白光干涉儀以白光干涉技術為原理,光源發(fā)出的光通過分光棱鏡分為兩束,一束通過測量表面反射,另一束通過參考鏡反射,兩束反射光最終聚集干擾,顯微鏡將測量表面的形狀特征轉化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面的三維形狀。
用白光干涉儀測量三維微觀形狀。SuperView W1白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造和封裝工藝檢測3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS設備等超精密加工行業(yè)和航空航天、國防軍工、科研機構等領域??蓽y量各種物體表面從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率,從納米到微米工件的粗糙度、平整度、微幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/A ** E/EUR/G國內外四大標準共300多項2D、3D以參數為評價標準。
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