激光干涉儀和白光干涉儀工作原理？

  客戶經(jīng)常打電話咨詢干涉儀，看到中間儀器有激光干涉儀和白光干涉儀，不知道哪一個(gè)能滿足自己的需求？雖然激光干涉儀和白光干涉儀都屬于干涉儀的類別，但兩者之間的區(qū)別可能很大！

激光干涉儀的工作原理

邁克爾遜干涉原理用于測量激光干涉儀：

(1) 從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束(圓偏振光)分為兩束激光(線偏振光)；

(2) 兩束激光分別通過角錐反射鏡A和角錐反射鏡B由于兩束激光頻率相同，振動方向相同，相位差恒定，反射后平行于出射光(紅線)返回，分光鏡后疊加。

(3) 角錐反射鏡B激光波長的距離每移動一半，就會產(chǎn)生完整的明暗干擾。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。

根據(jù)激光干涉儀的原理，我們可以清楚地知道設(shè)備的運(yùn)動精度，SJ6000目前，激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、直線電機(jī)、滑臺、模塊、自動化設(shè)備、機(jī)器人等領(lǐng)域。

白光干涉儀的工作原理

白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光通過分光棱鏡分為兩束，一束通過測量表面反射，另一束通過參考鏡反射，兩束反射光最終聚集干擾，顯微鏡將測量表面的形狀特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面的三維形狀。

用白光干涉儀測量三維微觀形狀。SuperView W1白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和封裝工藝檢測3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS設(shè)備等超精密加工行業(yè)和航空航天、國防軍工、科研機(jī)構(gòu)等領(lǐng)域。可測量各種物體表面從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率，從納米到微米工件的粗糙度、平整度、微幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/A ** E/EUR/G國內(nèi)外四大標(biāo)準(zhǔn)共300多項(xiàng)2D、3D以參數(shù)為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。