白光干涉——神奇的精密測(cè)量世界

白光干涉

      白光干涉測(cè)量專用于非接觸式快速測(cè)量，精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓及臺(tái)階段差尺寸，其測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)！

 目前，在3D測(cè)量領(lǐng)域，白光干涉儀是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一。

白光干涉的原理及說(shuō)明：

1. 干涉條紋掃描測(cè)量表面位置信息的理論根據(jù)是被測(cè)表面上各點(diǎn)深度不同所形成的干涉光強(qiáng)不同。
      2. 產(chǎn)生干涉情況下，波長(zhǎng)與可測(cè)量的深度數(shù)據(jù)相對(duì)應(yīng)。

3. 在白光干涉中，干涉圖樣是由各色光形成的單色干涉圖樣形成的。被測(cè)表面上各點(diǎn)的深度不同，根據(jù)光的波動(dòng)性與同調(diào)性，所對(duì)應(yīng)的干涉光強(qiáng)中各頻譜成分的強(qiáng)度不同，各色光的干涉級(jí)次不同。有助于更加準(zhǔn)確的得到表面的位置信息。

白光干涉的優(yōu)勢(shì)：  

非接觸三維表面輪廓測(cè)量。 

噪音小，測(cè)量重復(fù)性好。

納米級(jí)分辨率：Z軸分辨率最高可達(dá)0.1nm

測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)多：一個(gè)面最多可以達(dá)到500萬(wàn)個(gè)點(diǎn)，點(diǎn)間距小，XY分辨率高。

多種視野范圍可供選擇，快速切換物鏡變換視野。

測(cè)量速度快，可實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量。

測(cè)量案例成果

玻璃表面與油墨層段差

粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量

極片粗糙度測(cè)量

金屬表面氧化后的微觀形貌

菲涅爾透鏡形貌測(cè)量

在線測(cè)量運(yùn)用案例